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 Home > 製品情報 > PCB事業部 > Digital Direct Exposure > DE Machine |
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| 追加説明 |
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| 1)高品質, 高精細パタン描画の実現 |
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| High-precision & Repeatability: Machine & Alignment Accuracy |
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| High-quality resolution L/S=10um(DFR thickness:25um) |
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| 仕 様 |
DE-S SERIES:標準 L/S=25um対応
DE-H SERIES:高精度 L/S=10um対応 |
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| 項 目 |
Unit |
DE-3DS |
DE-6UH |
| 描画サイズ |
mm |
610 x 510 |
← |
| パネルサイズ |
mm |
650 x 550 x t5 |
← |
| 軸構成 |
- |
X, Y, Z and  |
← |
| X,Y軸位置フィードバック |
mm |
±0.0001 Linear scale |
| 位置精度 |
mm |
±0.005 |
±0.003 |
| パネル保持方式 |
- |
Vacuum |
← |
| アライメント方式 |
- |
Auto-Alignment[CCD camera] |
| 描画幅 |
mm |
258/scan |
255/scan |
| 光源 |
- |
405nm Laser-diode |
← |
| スポットサイズ |
mm |
0.01 |
0.0035 |
| CNC装置 |
- |
H・MARK-30 |
← |
| 電源電圧及び容量 |
V |
Ø3 AC200V, 50Hz±10%
Ø3 AC220V, 60Hz±10% |
| KVA |
14 |
← |
| Air圧及び容量 |
KPA |
490~590 |
← |
 /min |
10 |
← |
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| 設置図(詳細図面は別途要請願います。) |
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マスクが不要、高信頼性、多重露光方式採用