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| 추가설명 |
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| 1)고품질, 정교한 패턴묘화 실현 |
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| High-precision & Repeatability: Machine & Alignment Accuracy |
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| High-quality resolution L/S=10um(DFR thickness:25um) |
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| 사양 |
DE-S SERIES:표준 L/S=20um대응
DE-H SERIES:고정도 L/S=8um 대응 |
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| 항목 |
Unit |
DE-3DS |
DE-6UH |
| 묘화사이즈 |
mm |
610 x 510 |
← |
| 판넬사이즈 |
mm |
650 x 550 x t5 |
← |
| 축 구성 |
- |
X, Y, Z and Θ |
← |
| X, Y축 위치 피드백 |
mm |
±0.0001 Linear scale |
| 위치정도 |
mm |
±0.005 |
±0.003 |
| 판넬유지 방법 |
- |
진공흡착 |
← |
| 얼라이먼트 방식 |
- |
오토 얼라이먼트 방식[CCD camera] |
| 묘화폭 |
mm |
258/scan |
255/scan |
| 광원 |
- |
405nm Laser-diode |
← |
| 빔경 |
mm |
0.01 |
0.0035 |
| CNC장치 |
- |
H·MARK-30 |
← |
| 전원전압 및 용량 |
V |
Ø3 AC200V, 50Hz±10%
Ø3 AC220V, 60Hz±10% |
| KVA |
14 |
← |
| Air압력 및 용량 |
KPA |
490~590 |
← |
| ℓ/min |
10 |
← |
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| 설치도(상세도면은 별도 요청해 주십시오) |
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마스크가 불필요, 고신뢰성, 다중 노광방식채용,